你見(jiàn)過(guò)硅片清洗機(jī)嗎?它是怎么工作的呢?

當(dāng)一片晶圓被切割成很多小的硅片之后，會(huì)被放入這個(gè)轉(zhuǎn)盤上。然后通過(guò)真空吸盤固定住，接著就進(jìn)入清洗腔體。

這里會(huì)噴射出超純水和三氯氫硅氣體混合物，對(duì)硅片進(jìn)行全方位無(wú)死角的沖洗，以此來(lái)去除表面的雜質(zhì)、金屬離子以及有機(jī)污染物等，以達(dá)到一個(gè)清潔的效果，為下一步的刻蝕做準(zhǔn)備。

整個(gè)過(guò)程非常快，只需要幾秒鐘就能完成清洗，效率非常高。而且它還能通過(guò)視覺(jué)系統(tǒng)檢測(cè)硅片是否清洗干凈，如果發(fā)現(xiàn)不合格就會(huì)重新洗一遍

清洗完后，再通過(guò)傳送帶輸送到下一工序中。不得不說(shuō)，這玩意真是科技與狠活啊!